可达到亚埃级，常用于纳米材料精准表征，获取微观原子排布，微区结构和元素分布信息。可得到高分辨率像(HRTEM)，单原子图像，haddf(高角环形暗场)，eels(电子能量损失谱), mapping等。

（1）HRTEM：高分辨透射电子显微镜 (HRTEM) 模式利用球差的高分辨率能力，可以观察晶体内部的原子排列、晶体缺陷等微观结构；

（2）HAADF：通过收集高角度散射的电子成像，具有高衬度和高分辨率，特别适合观察重元素样品，例如金属和矿物；

（3）EELS：电子能量损失谱 (EELS) 可以分析样品的化学信息，例如元素价态、成键类型、电子结构等，结合球差的高分辨率，还可以进行纳米尺度的化学分析；

（4）MAPPING：对样品进行元素分布 Mapping 分析，可以获得样品中不同元素的空间分布信息，用于成分分析和材料表征；

（5）IDPC：低剂量直接相位对比成像 (iDPC) 技术可以在低剂量条件下获得高对比度和高信噪比的图像，特别适合观察易受电子束损伤的样品，例如生物样品。

1、块体用FIB制样，厚度30nm左右；粉末提供10mg左右；

2、纳米颗粒或者纳米片建议用微栅或者超薄碳膜制样；

3、含磁性元素的样品必须提供粉末用于验证磁性；

1、样品为什么会积碳，积碳有什么影响？

样品中有机物的影响，制备过程含有机物，或者样品吸附空气中污染物；积碳会影响STEM模式的拍摄效果，让视野模糊不清。

 2、有什么方法可以改善积碳带来的影响？是否一定有用？

等离子清洗制好样的载网，但有洗坏样品的风险，可以会导致负载颗粒脱落等风险；电子束辐照样品一段时间，理论上会有改善，但是实际不一定会有明显效果。

 3、拍摄单原子时，为什么整片区域都是很亮的，看不清单个的？

可能是因为样品太厚，或者负载量太大等原因。

 4、为什么拍不到原子分辨率的mapping和eels？

原子相要求样品很薄，但样品薄的话能谱信号和eels号会比较弱，不利于收集信号。而想要拍到原子分辨率的mapping和eels就要求样品很薄，很稳定，能长时间收集信号，且要求原子序数都比较大的，一般样品很难同时符合这几个要求。