俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，简称AES）是表面科学和材料分析领域不可或缺的高端分析设备，凭借其纳米级表面敏感性、元素识别能力和化学态分析功能，已成为半导体工业、材料研究和催化科学等领域的重要工具。

AES测试表面谱图点扫，线扫，Mapping，深度刻蚀;

样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等； 固态样品：片状、块状或粉末。 另外在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候， 对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。

建议：样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。

AES SEI成像+能谱图+元素定性半定量分析