微纳加工是一种在微米至纳米尺度上制造结构的功能性技术。它融合了光刻、刻蚀、薄膜沉积等精密工艺,如同在头发丝万分之一粗细的材料上进行“雕刻”与“搭建”。该技术是半导体芯片、MEMS传感器、光电子器件等尖端产业的制造基石,推动着信息技术、生物医疗和新能源领域的创新发展,是现代高科技工业的核心支撑。
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