可达到亚埃级，常用于纳米材料精准表征，获取微观原子排布，微区结构和元素分布信息。可得到高分辨率像(HRTEM)，单原子图像，haddf(高角环形暗场)，eels(电子能量损失谱), mapping等。

形貌观察：对各种材料内部微结构进行二维显微形貌观察，包括常见的粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察；配合三维重构可以得到三维立体形貌；

结构分析：利用选区电子衍射、高分辨透射图像、高分辨扫描透射图像等分析材料的结构；

成分分析：配合能谱仪可以对样品元素做点、线、面、体分布分析，可以得到原子分辨率的元素面分布图

1、块体用fib制样，厚度30nm左右；粉末提供10mg左右；

2、纳米颗粒或者纳米片建议用微栅或者超薄碳膜制样；

3、含磁性元素的样品必须提供粉末用于验证磁性；

1. 样品为什么会积碳，积碳有什么影响？

样品中有机物的影响，制备过程含有机物，或者样品吸附空气中污染物；积碳会影响STEM模式的拍摄效果，让视野模糊不清。

2. 拍的单原子，为什么整片区域都是很亮的，看不清单个的？

样品太厚，或负载量太大等原因造成的。

3. 为什么拍不到原子分辨率的mapping和eels？

因为Mapping和EELS都需要信号积累，样品中的单原子类似于操场上无序跑动的人，在电子束照射下不稳定，很难在拍完单原子图像后再在同一个位置拍到一样的单原子mapping和EELS，并且元素含量低对应的EELS信号会弱；单原子含量低，mapping拍到的可能只是噪点；