工业CT是应用于工业领域的计算机断层扫描技术。它是以不损伤被检测对象的性能为前提的一种无损检测技术，主要应用于航空航天、军工、土木建工等大尺寸铸件检测，一般分辨率是在3μm以上。主要可以实现以下目的：

（1）缺陷检测：识别和量化被测工件内部的裂纹、气孔、夹杂等缺陷；

（2）结构分析：获取复杂零部件的内部结构信息；

（3）尺寸测量：精确测量内部及外部尺寸；

1、分辨率：指像素点的大小，比如200nm分辨率，就是图片中一个像素点的大小是边长200nm的正方形；假设想要看到的最小特征尺寸是“x µm”，需要使用至少 “0.5x µm”分辨率。

2、样品尺寸：样品尺寸越大，能做的分辨率就越低。

1. 大尺寸样品如何测高分辨率？

可以尝试超视野扫描模式，放大局部区域测试提高分辨率，超分辨扫描模式。将单个样品测试两次，然后合并像素提高一倍分辨率，这样做会造成数据体大小提高4–8倍，如果针对高度比直径长很多的圆柱样品或偏向圆柱，可以使用螺旋扫描模式，样品边测试边向Z轴移动，这种模式只需要穿透直径方向的厚度，不需要整个高度，所以可以提高分辨率。

2. 分辨率由哪些因素决定，设备的最佳分辨率是0.5 μm，我的样品也可以实现0.5 μm分辨率吗？

能实现多高的分辨率，是结合样品密度、样品尺寸、扫描时间、设备能力的综合结果，极限分辨率也意味着极限的样品密度、极限的样品尺寸、最长的扫描时间，所以适度抉择。