光学轮廓仪是一种基于光学干涉原理的非接触式表面形貌测量设备。它通过分析样品与参考光路产生的干涉条纹，纳米级精度重建表面三维形貌，适用于薄膜、晶圆、MEMS器件等表面的粗糙度、台阶高度等关键参数测量，兼具高精度与高效率特点。可以测试表面形貌、粗糙度、高度。

1.样品需平整；表面粗糙度小于300 μm

2.样品尺寸不超过50*50mm就可以；

3.最大扫描区域是600*400um，超过这个区域需要拼接，拼接按拼接点计费，每次拼接会有30%区域重叠。

1.测量结果出现条纹跳跃或断线怎么办？

样品表面反射率太低或太陡。可通过喷涂极薄的金膜或白色粉末（如TiO₂）增强信号，或尝试使用不同的干涉物镜（如相移干涉PSI vs 垂直扫描干涉VSI）。

2.为什么测量粗糙度结果与接触式探针不同？

主要因仪器原理差异。光学轮廓仪受限于横向分辨率（物镜放大倍数）和滤波算法，对极其尖锐的峰谷可能低估。探针为接触式，结果更“真实”，但可能划伤软样品。

3.边缘位置出现“卷边”伪影是什么原因？

这是典型的边缘效应。因光波衍射和物镜景有限，仪器无法准确探测陡峭边缘的真实形貌。可尝试更高倍率的物镜或从不同角度测量并拼接数据来改善。

4.透明薄膜测不准厚度怎么办？

因上下表面均产生干涉信号导致混淆。需使用专门的白光干涉膜厚测量模式，通过分析光谱干涉信号的频率来解算膜厚，或配置具有该功能的软件模块。