纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

1、样品直径3-30mm，高度0-10mm(方形或圆柱体）

2、样品上下面平行，抛光没有肉眼可见划痕

3、不规则样品或者太小样品需要镶嵌树脂里面，抛光处理

4、样品的镶嵌，一定要用硬树脂

其它问题请咨询工作人员

1.数据离散度大的原因？

对于表面比较粗糙的样品，测试结果比较离散，建议测试点数不低于10个；

2.纳米压痕为什么不是100%卸载？

纳米压痕卸载一般都是90%，如果载荷控制的测试方法，卸载率设置100%的话，有可能会出现热漂移（卸载后位移出现大量的负数）；

3.压痕直径和深度的关系？

纳米压痕测试压痕的直径跟压入深度有一定的换算关系：一般有个概值估算，压痕直径=7.5×压痕深度；（此项跟压头也有关）

4.纳米压痕可以测试样品受结构的影响的硬度变化吗？

需要用到连续刚度模式，该模式可以看到硬度随压入深度变化而变化。